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光刻机用来干嘛?

网站编辑:上海建站网 发布时间:2022-04-22  点击数:
导读:操作步骤/方法11用途。2光刻机是芯片制造的核心设备之一,按照用途可以分为好几种:有用于生产芯片的光刻机;有用于封装的光刻机;还有用于LED制造领域的投影光刻机。3用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板,国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口,本次厦门企业从荷兰进口的光刻机就是用于芯片生产的设备。42工作原理。5在加工芯片的过程中,光刻机通过一系列的光源能量形状控制手段,将光束透射...
光刻机用来干嘛?

操作步骤/方法

1 1用途。 2 光刻机是芯片制造的核心设备之一,按照用途可以分为好几种:有用于生产芯片的光刻机;有用于封装的光刻机;还有用于LED制造领域的投影光刻机。 3 用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板,国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口,本次厦门企业从荷兰进口的光刻机就是用于芯片生产的设备。 4 2工作原理。 5 在加工芯片的过程中,光刻机通过一系列的光源能量形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上,然后使用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图。 6 一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干涂底旋涂光刻胶软烘对准曝光后烘显影硬烘激光刻蚀等工序。经过一次光刻的芯片可以继续涂胶曝光。越复杂的芯片,线路图的层数越多,也需要更精密的曝光控制过程。 END

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